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厚膜温盐深传感器的优势与前景

厚膜温盐深传感器是基于技术比较成熟的厚膜工艺制造的,对工艺、设备等要求不高,能够迅速降低成本,是一种可靠的压力传感器。该设备一般有厚膜压阻式压力传感器和厚膜静电电容式压力传感器。厚膜压阻式压力传感器的原理是将具有压阻效应的厚膜电阻应变计印刷在弹性体上,通过压力和应变电阻的对应关系来实现的压力测定。 厚膜静电电容式压力传感器的原理是在陶瓷弹性膜上印刷厚膜金属感压电极,当弹性隔膜感到压力而变形时,两电极间的间隙发生变化,两电极间的输出电容值也发生变化,通过将压力电容器芯片连接到转换电路上,得到相应的电信号输出。厚膜电容式压力传感器的工作温度范围一般为30~120℃,综合精度可达到1%~0.1%。厚膜电容式压力传感器具有对温度灵敏度低、温度系数小、制作技术简单、再现性好、可靠性高、能适应苛刻环境、成本低的优点,受到国内外研究者的极大重视,目前厚膜电容式压力传感器的研究已成为压力传感器领域的研究热点。

厚膜工艺是将各种无机粉末和一定量的无机粘合剂放入有机载体中,制备成功能浆使用丝网印刷法在绝缘基体上形成厚度μm到数十μm的平面图案,通过烧结使印刷图案硬化。

厚膜温盐深度传感器的开发能对温盐深度传感器的高度集成、批量生产、生产成本的大幅降低产生很大的推动作用,有助于我国该类设备突破依赖进口的束缚,帮助国内技术追赶世界先进水平。